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影响精密加工和超精密加工的因素很多，主要有加工机理、被加工材料、加工设备及其基础元部件、加工工具、检测与误差补偿、工作环境、工艺过程设计、夹具设计、的技艺等。1 加工机理 (l)新工艺新方法。近年来，新工艺新加工方法不断出现，应充分注意寻求新的加工手段。在传统加工方法中，金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精密磨削、精密高速切削、精密砂带研抛和磨料加工等已占有重要地位；在非传统加工中，出现了电子束、离子束、激光束等高能束加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花加工、电化学加工等多种方法；特别复合加工，如电解研磨、超声珩磨等，都是在加工机理上有所创新的，新的加工机理出现，标志着一种技术突破，往往是新技术的生点。(2)加工、处理的新概念。在加工机理上的突破表现在明确提出了去除加工、结合加工和变形加工，特别是以快速成形制造为代表的“堆积”加工的出现，在加工技术的思路上具有里程碑意义。(3)极薄加工具有无限生命力。越精密加工的目标和追求就是要寻求和探讨加工极限，目前的极薄切削水平是纳米级，随着科学技术的发展，个极限将逐步前移，值得研究的问题还很多。(4)进化加工原则值得提倡。利用精度低于工件精度要求的机床设备，借助工艺手段、特殊工具、计算机技术、传感器技术等，直接或间接加工出所需工件，这种进化加工原则将影响精密加工和超精密加工的全局。从上述几点可以看出，加工机理研究是精密加工和超精密加工的理论基础和新技术产生的源泉。加工机理是加工方法的本质，是加工方法成败、发展的关键。2 被加工材料 精密加工和超精密加工应该用相应的精密加工和超精密加工用的材料，才能保证加工质量，用一般加工用的材料或不合要求的材料进行精密加工和超精密加工是不能达到预期效果的。用于精密加工和超精密加工的材料，在化学成分、物理力学性能、加工工艺性能上均有严格要求；应该质地均匀，成分准确，性能稳定、一致，无外部和内部微观缺陷。其化学成分的误差应在10-2～10-3数量级，且应控制其杂质含量或不含杂质；其物理力学性能，如抗拉强度、硬度、伸长率、弹性模量、热导率、膨胀系数等，应达 10-5～10-6数量级。冶炼、铸造、轧辗、热处理等工艺过程均应严格控制，温度、熔渣过滤、晶粒大小、均匀性及方向性等对材料在物理、化学、力学、加工等性能方面均有很大影响。例如，高密度硬磁盘的片基是用专门的铝合金材料，在冶炼过程中，采用特殊的熔渣过滤装置，防止表面生成氧化层；在轧制时，采用两个方向交替滚轧，以防止晶粒产生纤维状态，影响物理力学性能的均匀性，使磁盘最终在磁记录性能上受到影响。3 加工设备及其元部件 精密加工和超精密加工所用的加工设备范围很广，如各种精密机床、越精密机床、激光加工机、精密电火花加工机床、离子束加工机，以及镀膜、涂敷等加工设备。对切削加工设备来说，代表性的机床有超精密车床，用来加工各种轴类、盘套类和带曲面的零件等；超精密铣床配有精密回转工作台，用于加工平面和多面体零件；研磨机和抛光机仍然是重要的精密加工设备，用于加工外圆、孔、平面等，按加工需求有精密类型的。深圳:叶佳泉